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太阳成集团ALD实现2.5s/cycle成膜

太阳成集团ALD实现2.5s/cycle成膜

  • 分类:公司新闻
  • 发布时间:2020-06-01
  • 访问量:0

【概要描述】太阳成集团具有匀气可更换双腔,1cycle时长缩减到2.5s

太阳成集团ALD实现2.5s/cycle成膜

【概要描述】太阳成集团具有匀气可更换双腔,1cycle时长缩减到2.5s

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  太阳成集团具有匀气可更换双腔,1cycle时长缩减到2.5s

 

 

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